มีเป้าหมายการสปัตเตอร์หลายประเภทที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง และยังใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรม วันนี้เราจะพูดถึงเป้าหมายการสปัตเตอร์สี่ประเภทที่ใช้กันทั่วไปในสี่สาขาหลัก ได้แก่ เป้าหมายอลูมิเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง เป้าหมายไทเทเนียม เป้าหมายแทนทาลัม และเป้าหมายไทเทเนียมทังสเตน ซึ่งครอบคลุมด้านต่างๆ ของจอแบน เซมิคอนดักเตอร์ สตอเรจ และโซลาร์เซลล์
เป้าหมายอลูมิเนียม (ความบริสุทธิ์ของสต็อก 99.99 เปอร์เซ็นต์ - 99.999 เปอร์เซ็นต์ )
อะลูมิเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงและโลหะผสมเป็นหนึ่งในวัสดุฟิล์มนำไฟฟ้าที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย ในด้านการใช้งาน การผลิตชิป VLSI ต้องใช้โลหะเป้าหมายที่มีความบริสุทธิ์สูงมาก โดยปกติแล้วจะสูงถึง 99.9995 เปอร์เซ็นต์ ในขณะที่ความบริสุทธิ์ของโลหะของจอแสดงผลแบบแบนและเซลล์แสงอาทิตย์จะต่ำกว่าเล็กน้อย
เป้าหมายไทเทเนียม (ความบริสุทธิ์ของสต็อก 99.99 เปอร์เซ็นต์ - 99.999 เปอร์เซ็นต์ )
ไททาเนียมเป็นหนึ่งในวัสดุฟิล์มกั้นที่ใช้กันทั่วไปในชิป VLSI (วัสดุชั้นนำไฟฟ้าที่สอดคล้องกันคืออะลูมิเนียม) เป้าหมายไทเทเนียมจะใช้ร่วมกับแหวนไทเทเนียมในกระบวนการผลิตพรีชิป หน้าที่หลักคือการช่วยกระบวนการสปัตเตอริงของเป้าหมายไทเทเนียม ซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในด้านการผลิตชิป VLSI
เป้าหมายแทนทาลัม (ความบริสุทธิ์ของสินค้าคงคลัง 99 เปอร์เซ็นต์ 99.5 เปอร์เซ็นต์ 99.9 เปอร์เซ็นต์ 99.995 เปอร์เซ็นต์ 99.99 เปอร์เซ็นต์ 99.995 เปอร์เซ็นต์ 99.999 เปอร์เซ็นต์)
ด้วยความต้องการที่เพิ่มขึ้นอย่างมากสำหรับผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค เช่น สมาร์ทโฟนและแท็บเล็ต ความต้องการชิประดับไฮเอนด์จึงเพิ่มขึ้นอย่างมาก และแทนทาลัมได้กลายเป็นแหล่งแร่ร้อน อย่างไรก็ตาม เนื่องจากการขาดแคลนทรัพยากรแทนทาลัม เป้าหมายแทนทาลัมที่มีความบริสุทธิ์สูงจึงมีราคาแพงและส่วนใหญ่จะใช้ในวงจรรวมขนาดใหญ่และสาขาอื่นๆ
เป้าหมายทังสเตนไทเทเนียม (ความบริสุทธิ์ 99.95 เปอร์เซ็นต์ในสต็อก)
โลหะผสมไททาเนียมทังสเตนมีการเคลื่อนที่ของอิเล็กตรอนต่ำ คุณสมบัติเชิงกลทางความร้อนที่เสถียร ความต้านทานการกัดกร่อนที่ดี และเสถียรภาพทางเคมีที่ดี ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะผสมไททาเนียมทังสเตนถูกนำมาใช้เป็นวัสดุชั้นสัมผัสของวงจรกริดชิปเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ ในการเชื่อมต่อโลหะของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เป้าทังสเตนและไททาเนียมสามารถใช้เป็นชั้นกั้นได้ ใช้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง ส่วนใหญ่ใช้กับ VLSI และเซลล์แสงอาทิตย์
